作为交换，花旗国政府拥有对阿斯慢生产的监管权限。这也是为何今天花旗国会对阿斯慢有巨大话语权的原因之一。
EUV联盟在二零零三年，认为理论工作已经完成，便在当年解散。
所有的技术成果，都由阿斯慢所掌握，但直到二零一五年，阿斯慢才将EUV光刻机做到量产。
中间，因为花旗国顶级光源企业Cymer，一直搞不定EUV所需光源的研发，阿斯慢就在二零一二年将该公司收购了，投入重金全力研发EUV所需的光源。
资金不足时，阿斯慢就从客户手里掏钱。
二零一二年，阿斯麦提出“客户联合投资计划”，拿出百分之二十五的股份，邀请主要客户做联合投资，股东将拥有优先订货权。
英特尔、三星、台急电三家公司凑了五十二亿多欧元，支持EUV光刻机的研发，分别拿下了百分之十五，百分之五，百分之三的股份。
光刻机最难的是光源、晶圆曝光台、对准系统和镜头。
国产光刻机涉及几十个学科的顶尖难题，需要将这些难题都钻研一遍。
同时还得找到顶级的供应商。
阿斯慢百分之九十的零部件来自外部采购，但这些零部件都是阿斯慢和供应商共同研发的，专利在阿斯慢的手上。
物镜系统（镜头）是蔡司的，温控、光路修正系统等软件相关专利却是阿斯慢的。
没有这些专利，即使国内厂商拿到蔡司的镜头，也没法发挥蔡司镜头的功效。
阿斯慢近三十年时间，形成了一万多项专利，并且不断的收购，投资和合作开发，打造了整个光刻机的核心部件供应商体系。
顶级的光源，高精度的镜头和精密仪器制作技术，是EUV光刻机三大核心技术，阿斯慢的光源来自收购的子公司Cymer，镜头来自深度绑定的蔡司，精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。
二十世纪六十年代，华夏也曾研究过光刻机，但在“造不如买”思想下，放弃了光刻机领域的研发。
回顾阿斯慢成为霸主的过程，高远的顶层规划，困境中的自身坚持，以及市场和技术的平衡，万中无一的运气，这些因素缺一不可。
追赶成了华夏的必选项，技术差距虽大，但有了星光科技公司的存在，相信必将会有改变历史的时刻。
现在是二零一零年，阿斯慢也还没有收购，花旗国的顶级光源企业Cymer，还没有生产出EUV，至少还没有进入量产，迎难而上，一切上应该都还来的及。
沪上微电子集团，是华夏国内唯一的一家，生产光刻机的公司，成立于二零零二年，虽然进步很快，但与国际上的几家光刻机生产企业的差距，仍然是非常的大，只能生产一些低端的光刻机，纳米级别的光刻机，要到二零一八年才能通过验收，而且是90纳米级别的光刻机。
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